As pooljuhtja mikroelektroonilised tehnoloogiad arenevad suurema jõudluse ja suurema integreerituse suunas, elektrooniliste erigaaside puhtusele esitatakse kõrgemaid nõudeid. Kõrge puhtusastmega gaasitorustike tehnoloogia on kõrge puhtusastmega gaasivarustussüsteemi oluline osa. See on võtmetehnoloogia kõrge puhtusastmega gaaside tarnimiseks, mis vastavad nõuetele gaasikasutuspunktidesse, säilitades samas kvalifitseeritud kvaliteedi.
Kõrge puhtusastmega torustike tehnoloogia hõlmab süsteemi õiget projekteerimist, toruliitmike ja abimaterjalide valikut, ehitamist ja paigaldust ning katsetamist.
01Gaasi ülekandetorustiku üldkontseptsioon
Kõik kõrge puhtusastmega ja kõrge puhtusastmega gaasid tuleb transportida torujuhtmete kaudu terminali gaasipunkti. Gaasi protsessikvaliteedi nõuete täitmiseks, kui gaasi ekspordiindeks on kindel, tuleb rohkem tähelepanu pöörata torustiku materjali valikule ja ehituskvaliteedile. Lisaks gaasi tootmis- või puhastusseadmete täpsusele mõjutavad seda suurel määral ka paljud torustiku süsteemi tegurid. Seetõttu tuleb torude valikul järgida vastavaid puhastustööstuse põhimõtteid ja märkida joonistele torude materjal.
02Kõrge puhtusastmega torustike tähtsus gaasitranspordis
Kõrge puhtusastmega torujuhtmete tähtsus kõrge puhtusastmega gaasi transportimisel Roostevaba terase sulatusprotsessi käigus võib iga tonn absorbeerida umbes 200 g gaasi. Pärast roostevaba terase töötlemist ei jää selle pinnale mitte ainult erinevad saasteained, vaid ka teatud kogus gaasi neeldub selle metallvõres. Kui torustikku läbib õhuvool, siseneb metalli neeldunud gaasi osa uuesti õhuvoolu ja saastab puhta gaasi.
Kui õhuvool torus on katkendlik, moodustab toru läbiva gaasi surve adsorptsiooni. Kui õhuvool lakkab liikumast, moodustab torus adsorbeerunud gaas rõhu vähendamise analüüsi ning analüüsitav gaas siseneb lisandina ka torus oleva puhta gaasi hulka.
Samal ajal tekitab adsorptsiooni- ja analüüsitsükkel toru sisepinnal oleva metalli teatud koguse pulbrit. See metallitolmuosake reostab ka torus olevat puhast gaasi. See toru omadus on väga oluline. Transporditava gaasi puhtuse tagamiseks ei nõuta mitte ainult seda, et toru sisepind oleks äärmiselt sile, vaid ka sellel peab olema kõrge kulumiskindlus.
Kui gaasil on tugevad söövitavad omadused, tuleb torustike jaoks kasutada korrosioonikindlaid roostevabast terasest torusid. Vastasel juhul tekivad korrosiooni tõttu toru sisepinnale korrosioonilaigud. Rasketel juhtudel kooruvad suured metallitükid maha või perforeeruvad, saastades sellega transporditava puhta gaasi.
03 Toru materjal
Toru materjalivalik tuleb valida vastavalt kasutusvajadustele. Toru kvaliteeti mõõdetakse üldjuhul toru sisepinna kareduse järgi. Mida väiksem on karedus, seda väiksem on tõenäosus, et see kannab osakesi. Üldiselt jagatud kolme tüüpi:
Üks onEP klassi 316L toru, mis on elektrolüütiliselt poleeritud (Electro-Poolish). See on korrosioonikindel ja madala pinnakaredusega. Rmax (maksimaalne tipu ja oru kõrgus) on umbes 0,3 μm või vähem. Sellel on kõrgeim tasasus ja see ei ole lihtne moodustada mikropöörisvoolu. Eemaldage saastunud osakesed. Protsessis kasutatav reaktsioonigaas tuleks juhtida sellel tasemel.
Üks on aBA hinne 316Ltoru, mida on töödeldud firmas Bright Anneal ja mida kasutatakse sageli gaaside puhul, mis on kiibiga kontaktis, kuid ei osale protsessireaktsioonis, nagu GN2 ja CDA. Üks neist on AP toru (Annealing & Picking), mida ei ole spetsiaalselt töödeldud ja mida tavaliselt kasutatakse kahekordsete välistorude jaoks, mida ei kasutata gaasivarustustorudena.
04 Torujuhtme ehitus
Torusuudme töötlemine on selle ehitustehnoloogia üks võtmepunkte. Torustiku lõikamine ja eeltöötlemine toimub puhtas keskkonnas ning samas on enne läbilõikamist tagatud, et torustiku pinnal ei oleks kahjulikke jälgi ega kahjustusi. Enne torujuhtme avamist tuleks valmistuda torujuhtme lämmastiku loputamiseks. Põhimõtteliselt kasutatakse keevitamist kõrge puhtusastmega ja kõrge puhtusega suure vooluga gaasi ülekande- ja jaotustorustike ühendamiseks, kuid otsene keevitamine pole lubatud. Kasutada tuleks korpuse ühendusi ja kasutatava toru materjali struktuur ei tohi keevitamise ajal muutuda. Liiga suure süsinikusisaldusega materjali keevitamisel põhjustab keevitusosa õhu läbilaskvus toru sees ja väljas olev gaas teineteise läbitungimise, mis hävitab edastusgaasi puhtuse, kuivuse ja puhtuse, mis toob kaasa tõsiseid tagajärgi. ja mõjutada tootmise kvaliteeti.
Kokkuvõtvalt võib öelda, et kõrge puhtusastmega gaasi- ja spetsiaalsete gaasiülekandetorustike jaoks tuleb kasutada spetsiaalselt töödeldud kõrge puhtusastmega roostevabast terasest toru, mis muudab kõrge puhtusastmega torustikusüsteemi (sh torustikud, toruliitmikud, ventiilid, VMB, VMP) enda alla ülitähtis missioon kõrge puhtusastmega gaasi jaotamisel.
Postitusaeg: 26. november 2024