As pooljuhtKuna mikroelektroonikatehnoloogiad arenevad suurema jõudluse ja integratsiooni suunas, seatakse elektrooniliste erigaaside puhtusele kõrgemad nõuded. Kõrge puhtusastmega gaasitorustiku tehnoloogia on kõrge puhtusastmega gaasivarustussüsteemi oluline osa. See on võtmetehnoloogia kõrge puhtusastmega gaaside tarnimiseks gaasi kasutuspunktidesse, säilitades samal ajal kvalifitseeritud kvaliteedi.
Kõrge puhtusastmega torustiku tehnoloogia hõlmab süsteemi õiget projekteerimist, toruliitmike ja abimaterjalide valikut, ehitamist ja paigaldamist ning katsetamist.
01Gaasiülekandetorustiku üldine kontseptsioon
Kõik kõrge puhtusastmega ja -kvaliteediga gaasid tuleb terminali gaasipunkti transportida torujuhtmete kaudu. Gaasi protsessikvaliteedi nõuete täitmiseks, kui gaasi ekspordiindeks on kindel, on vaja pöörata rohkem tähelepanu torustiku materjalivalikule ja ehituskvaliteedile. Lisaks gaasi tootmise või puhastamise seadmete täpsusele mõjutavad seda suuresti ka paljud torustikusüsteemi tegurid. Seetõttu tuleb torude valikul järgida asjakohaseid puhastustööstuse põhimõtteid ja märkida torude materjal joonistele.
02Kõrgpuhastustorustike tähtsus gaasitranspordis
Kõrge puhtusastmega torujuhtmete tähtsus kõrge puhtusastmega gaasi transportimisel Roostevaba terase sulatamisprotsessi käigus suudab iga tonn absorbeerida umbes 200 g gaasi. Pärast roostevaba terase töötlemist ei jää selle pinnale mitte ainult mitmesugused saasteained, vaid ka teatud kogus gaasi absorbeerub selle metallvõres. Kui torujuhtmes liigub õhuvool, satub metalli poolt absorbeeritud gaasi osa tagasi õhuvoolu ja saastab puhast gaasi.
Kui õhuvool torus on katkendlik, moodustab toru läbiva gaasi rõhu adsorptsiooni. Kui õhuvool peatub, moodustab toru adsorbeerunud gaas rõhu alandamise analüüsi ja analüüsitud gaas siseneb torus oleva puhta gaasi hulka lisandina.
Samal ajal põhjustab adsorptsiooni- ja analüüsitsükkel toru sisepinnal oleva metalli teatud koguse pulbri tootmist. See metallitolmuosake saastab ka torus olevat puhast gaasi. See toru omadus on väga oluline. Transporditava gaasi puhtuse tagamiseks peab toru sisepind olema mitte ainult äärmiselt sile, vaid ka kulumiskindel.
Kui gaasil on tugevad söövitavad omadused, tuleb torustiku jaoks kasutada korrosioonikindlaid roostevabast terasest torusid. Vastasel juhul tekivad toru sisepinnale korrosiooni tõttu korrosiooniplekid. Rasketel juhtudel kooruvad suured metallitükid lahti või isegi purunevad, saastades seeläbi transporditavat puhast gaasi.
03Toru materjal
Toru materjali valik tuleb valida vastavalt kasutusvajadustele. Toru kvaliteeti mõõdetakse üldiselt toru sisepinna kareduse järgi. Mida väiksem on karedus, seda väiksem on osakeste kandmise tõenäosus. Üldiselt jaguneb see kolmeks tüübiks:
Üks onEP-klassi 316L toru, mis on elektrolüütiliselt poleeritud (elektropoleerimine). See on korrosioonikindel ja madala pinnakaredusega. Rmax (maksimaalne tipu ja oru kõrgus) on umbes 0,3 μm või vähem. Sellel on kõrgeim tasasus ja mikro-keerisvoolude teke pole selles lihtne. Eemaldage saastunud osakesed. Protsessis kasutatav reaktsioonigaas tuleks torustiku kaudu sellele tasemele suunata.
Üks onBA klass 316Ltoru, mida on töödeldud Bright Annealiga ja mida sageli kasutatakse gaaside jaoks, mis puutuvad kokku kiibiga, kuid ei osale protsessireaktsioonis, näiteks GN2 ja CDA. Üks neist on AP-toru (lõõmutamine ja valimine), mida ei ole spetsiaalselt töödeldud ja mida tavaliselt kasutatakse kahekordsete välistorude komplektide jaoks, mida ei kasutata gaasivarustusliinidena.
04 Torujuhtme ehitus
Torusuu töötlemine on selle ehitustehnoloogia üks võtmepunkte. Torujuhtme lõikamine ja eeltöötlus viiakse läbi puhtas keskkonnas, tagades samal ajal, et enne lõikamist ei jääks torujuhtme pinnale kahjulikke jälgi ega kahjustusi. Enne torujuhtme avamist tuleks teha ettevalmistused lämmastikuga loputamiseks torustikus. Põhimõtteliselt kasutatakse keevitamist kõrge puhtusastmega ja kõrge puhtusastmega gaasiülekande- ja jaotustorustike ühendamiseks suure vooluhulgaga, kuid otsene keevitamine ei ole lubatud. Tuleks kasutada korpusühendusi ja kasutatava torumaterjali struktuur ei tohi keevitamise ajal muutuda. Kui keevitatakse liiga suure süsinikusisaldusega materjali, põhjustab keevitusdetaili õhu läbilaskvus toru sees ja väljas gaasi üksteise läbitungimist, mis rikub transporditava gaasi puhtust, kuivust ja puhtust, mis toob kaasa tõsiseid tagajärgi ja mõjutab toodangu kvaliteeti.
Kokkuvõttes tuleb kõrge puhtusastmega gaasi ja spetsiaalsete gaasitranspordi torustike puhul kasutada spetsiaalselt töödeldud kõrge puhtusastmega roostevabast terasest toru, mis muudab kõrge puhtusastmega torustikusüsteemi (sh torujuhtmed, toruliitmikud, ventiilid, VMB, VMP) kõrge puhtusastmega gaasi jaotamisel oluliseks ülesandeks.
Postituse aeg: 26. november 2024