1. Mahtgaasisüsteemi määratlus:
Inertgaaside ladustamine ja rõhu reguleerimine Gaasitüübid: Tüüpilised inertgaasid (lämmastik, argoon, suruõhk jne)
Torujuhtme suurus: alates 1/4-tollisest (monitooringutorustik) kuni 12-tollise peamise torujuhtmeni
Süsteemi peamised tooted on: membraanventiil/lõõtsventiil/kuulventiil, kõrge puhtusastmega ühenduspesa (VCR, keevitusvorm), ferrule-ühenduspesa, rõhureguleerimisventiil, manomeeter jne.
Praegu hõlmab uus süsteem ka spetsiaalse gaasi mahusüsteemi, mis kasutab ladustamiseks ja transportimiseks statsionaarseid gaasiballoone või tsisternautosid.
2. Puhastussüsteemi määratlus:
Lisandite eemaldamine kõrge puhtusastmega gaasitorustike lahtistest gaasidest
3. Gaasikappide määratlus:
Tagage spetsiaalsete gaasiallikate (mürgised, tuleohtlikud, reaktiivsed, söövitavad gaasid) rõhu reguleerimine ja voolu jälgimine ning gaasiballoonide asendamise võimalus.
Asukoht: Asub alltootmiskorrusel või alumisel korrusel spetsiaalsete gaaside hoidmiseks. Allikas: NF3, SF6, WF6 jne.
Torustiku suurus: sisemine gaasijuhe, üldiselt 1/4 tolli protsessitorustiku jaoks, 1/4-3/8 tolli peamiselt kõrge puhtusastmega lämmastikuga puhastustorustiku jaoks.
Peamised tooted: kõrge puhtusastmega membraanventiilid, tagasilöögiklapid, manomeetrid, rõhumõõturid, kõrge puhtusastmega ühendused (VCR, keevitusvorm). Need gaasikapid sisaldavad põhimõtteliselt balloonide automaatset lülitusvõimalust, et tagada pidev gaasivarustus ja balloonide ohutu vahetamine.
4. Jaotuse definitsioon:
Gaasiallika ühendamine gaasikogumisspiraaliga
Liini suurus: hakketehases on gaasijaotustorustiku suurus üldiselt vahemikus 1/2 tolli kuni 2 tolli.
Ühendusvorm: Spetsiaalsed gaasitorustikud ühendatakse tavaliselt keevitamise teel, ilma mehaanilise ühenduse või muude liikuvate osadeta, peamiselt seetõttu, et keevitusühendusel on tugev tihenduskindlus.
Kiibitehases on gaasi edastamiseks ühendatud sadu kilomeetreid torusid, mis on põhimõtteliselt umbes 20 jala pikkused ja kokku keevitatud. Samuti on väga levinud mõned torude painutused ja torukujulised keevisühendused.
5. Mitmeotstarbeline ventiilikarp (ventiilikollektorikarp, VMB) Definitsioon:
See on mõeldud spetsiaalsete gaaside jaotamiseks gaasiallikast seadmete erinevatesse otstesse.
Sisemise torujuhtme suurus: 1/4-tolline protsessitorustik ja 1/4–3/8-tolline puhastustorustik. Süsteem võib kasutada arvutijuhtimist, et nõuda käivitatavaid ventiile või odavamaid lahendusi käsitsi ventiilide kasutamisel.
Süsteemitooted: kõrge puhtusastmega membraanventiilid/lõõtsventiilid, tagasilöögiventiilid, kõrge puhtusastmega ühendused (VCR, mikrokeevitusvorm), rõhureguleerimisventiilid, manomeetrid ja rõhumõõturid jne. Mõnede inertgaaside jaotamiseks kasutatakse peamiselt ventiilikollektiivpaneeli - VMP (mitmeotstarbelist ventiiliketast), millel on avatud gaasiketta pind ja mis ei vaja suletud ruumi konstruktsiooni ega täiendavat lämmastikupuhastust.
6. Teisese klapi plaat/kast (tööriista ühendamise paneel) Definitsioon:
Ühendage pooljuhtseadme poolt nõutav gaas gaasiallikast seadme otsa ja tagage vastav rõhu reguleerimine. See paneel on gaasi juhtimissüsteem, mis asub seadme otsale lähemal kui VMB (mitmeotstarbeline klapikast).
Gaasitorustiku suurus: 1/4 - 3/8 tolli
Vedeliku torujuhtme suurus: 1/2 - 1 toll
Väljalasketorustiku suurus: 1/2 - 1 toll
Peamised tooted: membraanventiil/lõõtsventiil, ühesuunaline ventiil, rõhureguleerimisventiil, manomeeter, manomeeter, kõrge puhtusastmega ühendus (VCR, mikrokeevitus), ferruulühendus, kuulventiil, voolik jne.
Postituse aeg: 22. november 2024