1. Puistegaasisüsteemi määratlus:
Inertgaaside ladustamine ja rõhu reguleerimine Gaasitüübid: tüüpilised inertgaasid (lämmastik, argoon, suruõhk jne)
Torujuhtme suurus: 1/4 (seiretorustik) kuni 12-tollise magistraaltoruni
Süsteemi peamised tooted on: membraanventiil/lõõtsventiil/kuulkraan, kõrge puhtusastmega pistik (VCR, keevitusvorm), ümbriskonnektor, rõhureguleerimisventiil, manomeeter jne.
Praegu sisaldab uus süsteem ka lahtiselt erigaasisüsteemi, mis kasutab ladustamiseks ja transportimiseks fikseeritud gaasiballoone või paakautosid.
2. Puhastussüsteemi määratlus:
Kõrge puhtusastmega gaasijuhtmete puistegaasidest lisandite eemaldamine
3. Gaasikappide määratlus:
Tagage spetsiaalsete gaasiallikate (mürgised, tuleohtlikud, reaktiivsed, söövitavad gaasid) rõhu reguleerimine ja voolu jälgimine ning gaasiballoonide vahetamise võimalus.
Asukoht: asub Sub-fab korrusel või alumisel korrusel spetsiaalsete gaaside hoidmiseks Allikas: NF3, SF6, WF6 jne.
Torujuhtme suurus: sisemine gaasijuhe, tavaliselt 1/4 tolli protsessitorustiku jaoks, 1/4-3/8 tolli peamiselt kõrge puhtusastmega lämmastiku puhastustorustiku jaoks.
Peamised tooted: Kõrge puhtusastmega membraanventiilid, kontrollventiilid, manomeetrid, manomeetrid, kõrge puhtusastmega pistikud (VCR, keevitusvorm) Need gaasikapid sisaldavad põhimõtteliselt balloonide automaatset ümberlülitusvõimalust, et tagada pidev gaasivarustus ja balloonide ohutu vahetamine.
4. Levitamise määratlus:
Gaasiallika ühendamine gaasi kogumisspiraaliga
Liini suurus: Kiibitehases on lahtise gaasijaotustorustiku suurus üldiselt vahemikus 1/2 tolli kuni 2 tolli.
Ühendusvorm: Spetsiaalsed gaasitorud ühendatakse üldiselt keevitamise teel, ilma mehaanilise ühenduseta või muude liikuvate osadeta, peamiselt seetõttu, et keevitusühendusel on tugev tihenduskindlus.
Kiibitehases on gaasi edastamiseks ühendatud sadu kilomeetreid torusid, mis on põhimõtteliselt umbes 20 jalga pikad ja kokku keevitatud. Väga levinud on ka mõned torude kõverad ja torukujulised keevitusühendused.
5. Multifunktsionaalne klapikarp (Valve Manifold Box, VMB) Määratlus:
See on spetsiaalsete gaaside jaotamine gaasiallikast erinevatesse seadmete otstesse.
Sisemine torujuhtme suurus: 1/4-tolline protsessitorustik ja 1/4–3/8-tolline puhastustorustik. Süsteem võib kasutada arvutijuhtimist, et nõuda käivitatud ventiile või madalama hinnaga olukordi käsitsi ventiilidega.
Süsteemi tooted: kõrge puhtusastmega membraanventiilid/lõõtsventiilid, tagasilöögiklapid, kõrge puhtusastmega liitmikud (VCR, mikrokeevitusvorm), rõhureguleerimisventiilid, manomeetrid ja manomeetrid jne. Mõnede inertgaaside jaotamiseks kasutatakse Valve Manifold Panel - Peamiselt kasutatakse VMP-d (multi-function valve disc), millel on avatud gaasiketta pind ja mis ei vaja suletud ruumi disaini ja täiendavat lämmastiku läbipuhumist.
6. Sekundaarne klapiplaat/karp (tööriistaühenduspaneel) Definitsioon:
Ühendage pooljuhtseadmete jaoks vajalik gaas gaasiallikast seadme otsaga ja reguleerige rõhku. See paneel on gaasijuhtimissüsteem, mis on seadme otsale lähemal kui VMB (multifunktsionaalne klapikarp).
Gaasitoru suurus: 1/4 - 3/8 tolli
Vedeliku torujuhtme suurus: 1/2–1 tolli
Tühjendustorustiku suurus: 1/2–1 tolli
Peamised tooted: membraanklapp / lõõtsaventiil, ühesuunaline ventiil, rõhureguleerimisventiil, manomeeter, manomeeter, kõrge puhtusastmega liitmik (videomakk, mikrokeevitus), rõngastihend, kuulventiil, voolik jne.
Postitusaeg: 22.11.2024